学术动态
单层过渡金属硫化物(TMDs)凭借其
氨气选择性催化氧化(NH3-SCO)
原子层刻蚀能够以单层原子精度去除表面
在高精度半导体制造中,区域选择性原子
半导体器件不断朝着小型化、高度集成化
在柔性OLED等显示设备中,柔性阻隔