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微纳材料设计与制造研究中心是依托于机械科学与工程学院、材料科学与工程学院的跨学科交叉创新平台。中心目前有5名教授、3名副教授、5名助理研究员，和数十名博士、硕士研究生。主持各类国家级重点项目40余项，总科研经费超过5000万。中心聚焦于材料微纳制造与应用的跨学科、多尺度研究，涉及机械、材料、能源、计算机、光电子等学科，主要包括材料微纳尺度模拟与大数据技术、基于原子层沉积的纳尺度集成技术、柔性微/光电子器件的设计制造、能源环境纳米催化研究、面向生物医疗的3D打印技术。

中心充分发挥了跨学科优势，在基础科研创新和产业应用方面都取得了丰硕的成果：在国际权威期刊Science、Advanced Materials、Nat. Commun.、Angew. Chem. Int. Ed. 等发表论文400余篇，申请专利100余项（国际专利4项）；科研成果成功实现规模产业化，与美国斯坦福线性加速器中心、美国英特尔公司、美国通用汽车公司、美国全谱激光、TCL集团、华星光电、无锡威孚集团、中国航天科技集团、贵研铂业等龙头企业保持着长期紧密的合作关系。研究中心根据发展需要，诚邀海内外广大科研工作者加盟，广大学子踊跃报考！欢迎来函 lab.amd@gmail.com询问

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Nature communications | 选择性原子层沉积助力集成电路先进制程高精度自对准制造工艺

鲜于紫荆

唐思远

王其基

张艺磊

周卫民

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张城睿

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微纳中心师生参加第十一届中国原子层沉积会议

陈蓉教授华中科技大学机械学院教授，博导。中组部首批“中国青年科技创新领军人才计划”入选者，教育部“新世纪人才支持计划”获得者，973青年项目首席科学家。
单斌教授华中科技大学材料学院教授、博导。教育部新世纪优秀人才支持计划获得者，湖北省杰出青年。美国材料学会会员。