微纳材料设计与制造研究中心

三氢化铝（AlH3）因其优异的储氢性能而备受关注，是固体推进剂中极好的金属基燃料。AlH3表面有一层天然的Al2O3氧化层，但这层氧化层表面通常伴随着一些孔洞和裂纹缺陷，在长期储存或者具体成药过程中，外界水氧会通过这些缺陷进入AlH3内部，从而发生释氢反应，导致能量下降，进而阻碍了其实际应用。 针对上述问题...

质子交换膜燃料电池因其高能效、低工作温度和零排放等优势，被视为未来能源技术的重要方向。然而，燃料电池的商业化进程一直受到高成本和性能稳定性不足的限制。尽管铂催化剂已被证明具有良好的效率，但氧还原反应的缓慢动力学需要大量贵金属Pt作为阴极，这阻碍了燃料电池的广泛商业化。将Pt与非贵金属合金化或创建Pt壳...

石墨烯、过渡金属二硫化物等一系列二维材料是纳米电子领域颇受瞩目的明星材料。与硅等传统半导体材料相比，二维材料具有更加优异的电、热、光学性质，能被制作成包含长晶体管、存储器件、光电器件等一系列多功能器件。同时，二维材料仅有单层原子（<1nm）的厚度，在厚度方面易于叠加、集成，与新一代电子器件的三维...

近年来，柔性可穿戴电子设备因其轻量化和优异适应性，能够紧密贴合柔软、曲面和动态的生物系统，在人体健康监测和生物医疗领域展现了巨大的潜力。实现这一潜力需要采用柔软的阻隔衬底和封装薄膜，以有效保护这些设备免受环境中的水分、生物液体和水溶液的侵蚀。然而，常见的聚合物衬底由于具有较大的自由体积和较高的链...

2024年7月，Applied Catalysis A:General 发表我中心单斌教授团队关于莫来石型金属氧化物在多相催化领域研究进展的综述文章“Advancements in rare earth mullite oxides (AMn2O5) for catalytic oxidation: Structure, activity and design strategies”，DOI：https://doi.org/10.1016/j.apcata.2024.119872。顿耀辉为...

结合可再生能源绿氢，将二氧化碳资源化利用转化为高附加值绿色燃料（甲醇），不仅可以有效缓解对传统化石能源的过度依赖，更有助于能源行业的低碳转型。不同于传统甲醇工业所需的高温高压，低温等离子体催化技术可以通过气相活性自由基碰撞以及表面催化反应过程，实现在常温常压下的绿色甲醇合成。而等离子体技术所具有...

7月15日，受机械科学与工程学院陈蓉教授邀请，国际标准化组织金属及其他无机覆盖层委员会（ISO/ TC107）主席、韩国鲜文大学教授Soo Wohn Lee教授和中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员一行到微纳材料设计与制造研究中心开展学术交流，共同研讨原子层沉积技术的国际标准制定。 陈蓉教授陪同Lee教授参观了微纳材料设...

作为最有前途的第三代半导体材料之一，第三代半导体材料氮化镓 (GaN) 因其一系列独特的电子特性，如高电子迁移率、高击穿电压、高饱和漏电流、低导通电阻以及~3.4 eV的宽带隙，在高性能电子器件中具有广泛的应用。然而，GaN 的本征导热系数低，且GaN 器件中不断增长的功率密度与超过 300 kW/cm2的热流密度，将导致器件...

2024年6月6日，《Chemistry of materials》在线发表了华科微纳中心陈蓉教授团队关于区域选择性沉积（ASD）技术在金属互连中利用固有选择性实现金属选择性沉积的文章Area selective deposition of Ru on W/SiO2 nanopatterns via sequential reactant dosing and thermal defect correction（通过多次短脉冲和热缺陷后处...

选择性原子层沉积技术（Selective Atomic layer deposition，SALD）是微纳结构精准制造的重要方法，如台积电面向对3nm以下节点提出“自对准”的通孔工艺（FAV）关键步骤就是采用分子自组装层阻挡实现电介质的区域选择性原子层沉积。理解ALD的形核机制和长大行为规律，控制非生长区域的ALD形核生长，是实现高精度选择性制...