微纳材料设计与制造研究中心

结合可再生能源绿氢，将二氧化碳资源化利用转化为高附加值绿色燃料（甲醇），不仅可以有效缓解对传统化石能源的过度依赖，更有助于能源行业的低碳转型。不同于传统甲醇工业所需的高温高压，低温等离子体催化技术可以通过气相活性自由基碰撞以及表面催化反应过程，实现在常温常压下的绿色甲醇合成。而等离子体技术所具有...

7月15日，受机械科学与工程学院陈蓉教授邀请，国际标准化组织金属及其他无机覆盖层委员会（ISO/ TC107）主席、韩国鲜文大学教授Soo Wohn Lee教授和中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员一行到微纳材料设计与制造研究中心开展学术交流，共同研讨原子层沉积技术的国际标准制定。 陈蓉教授陪同Lee教授参观了微纳材料设...

作为最有前途的第三代半导体材料之一，第三代半导体材料氮化镓 (GaN) 因其一系列独特的电子特性，如高电子迁移率、高击穿电压、高饱和漏电流、低导通电阻以及~3.4 eV的宽带隙，在高性能电子器件中具有广泛的应用。然而，GaN 的本征导热系数低，且GaN 器件中不断增长的功率密度与超过 300 kW/cm2的热流密度，将导致器件...

2024年6月6日，《Chemistry of materials》在线发表了华科微纳中心陈蓉教授团队关于区域选择性沉积（ASD）技术在金属互连中利用固有选择性实现金属选择性沉积的文章Area selective deposition of Ru on W/SiO2 nanopatterns via sequential reactant dosing and thermal defect correction（通过多次短脉冲和热缺陷后处...

选择性原子层沉积技术（Selective Atomic layer deposition，SALD）是微纳结构精准制造的重要方法，如台积电面向对3nm以下节点提出“自对准”的通孔工艺（FAV）关键步骤就是采用分子自组装层阻挡实现电介质的区域选择性原子层沉积。理解ALD的形核机制和长大行为规律，控制非生长区域的ALD形核生长，是实现高精度选择性制...

数据驱动机器学习研究方法可以揭示催化构效关系等复杂规律，进而对材料的关键性质进行快速预测，从而可以极大地加速新材料的筛选和合理设计。但实际研究中，面对庞大的待研究材料空间，构建描述大材料空间数据特性的机器学习模型要求的数据量往往超出大多数实验室的实验或者计算能力。特别是对于催化材料研究，催化活性...

Au催化剂在低温水煤气变换反应（Water shift gas reaction，WGSR）中表现出卓越的活性，但是其活性位点容易被反应中间体（如碳酸盐和甲酸盐物种）所毒化，导致活性迅速下降，这限制了Au催化剂的实际应用。现有的方法如掺杂、表面改性和包覆可以在不同程度上增强Au催化剂的抗中毒能力，但也不可避免地会导致界面相互作用...

2024年5月9日，《国际机床与制造期刊》（International Journal of Machine Tools & Manufacture）在线发表了我中心陈蓉教授团队关于区域选择性沉积（ASD）技术在半导体和纳米技术制造中的革命性进展的观点文章“Area selective deposition for bottom-up atomic-scale manufacturing （区域选择性沉积——自下而上的...

化石能源的过度消耗导致了温室气体排放的增加，进而加剧了全球变暖的程度。为了缓解这一问题，研究人员一直在探索各种替代能源和绿色技术。其中，甲烷干重整（DRM）是一种非常有前景的技术，通过将天然气甲烷重整为合成气，不仅能够减少温室气体排放，还具有天然气回收和再利用的广阔前景。然而，传统的Ni基催化剂在DRM...

新一代的电子器件普遍具有高功率、高度集成化、小型化的特点，其功率密度与内部热流密度不断升高，为器件的散热带来挑战。如果散热不充分，高温通常会降低电子器件的性能，并降低器件的可靠性与寿命。因此，高功率器件的热管理问题是长期面临的挑战之一。微流道制冷是一种对流制冷技术，采取微米尺度的流道与制冷剂，其...