ALD&PLD系统
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| ALD-AFM双室系统 | ALD系统-S-ALD | ALD系统-多路管流 | ALD系统-粉体 |
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ALD系统-一代平面（含AE_Litmas等离子源） |
ALD系统-卷到卷 | ALD系统-离心 | Picosun ALD R200 |
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| TSST蒸镀磁控PLD |
材料制备
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| KQ5200DE型超声波清洗器 | Millipore超纯水仪 | QM-3SP2行星式球磨机 | TG16-ws离心机 |
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| WZ-50C6单道注射泵 | 布劳恩UniLab手套箱 | 成都铭恒PDC-MG等离子清洗机 | 合肥科晶VGB-3国产手套箱 |
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| 科晶GSL-1500X真空管式炉 | 力辰科技去离子水仪 | 马弗炉 | 真空干燥箱 |
光电测量
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| CHF-XM-500W 氙灯 | Crowntech IPCE测试系统 | Autolab电化学工作站 | Perfect Light-FX300光源 |
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| J. A. Woollam椭偏仪 | PSM-2010可程式交换式直流电源供应器 | 金镶KR-20005大功率程控直流电源 | 科思特CS310电化学工作站 |
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| 兆信KXN-1603D直流稳压电源 |
催化表征
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| AMETEK_Dycor_LC-D200_RGA残余气体分析仪 | Horiba_MEXA-584L尾气分析仪 | MKS_Multigas6030 | 泛泰4100 |
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| 佛分FGA-4100汽车排气分析仪 | 沃德VDSorb-91i | 崂应7030智能皂膜流量计 | FINESORB-3010e程序升温化学吸附仪 |
通用仪器
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| 2XZ-1旋片式真空泵 | AE_Litmas等离子源 | Agilent 5500原子力显微镜 | EwardsAPGX-H真空计 |
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| Hiden_HPR-20质谱仪 | NICOLET IS50红外仪器 | 氮氧分析仪CLD822Mh | 美国Kino动态静态接触角仪 |