微纳材料设计与制造研究中心

(adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({}); 1.原子层沉积工艺         原子层沉积技术（atomic layer deposition, ALD）已经逐渐成为了一项沉积功能薄膜的重要技术。该技术可以在纳米级尺度上精确控制物质成分和形貌，它可以将被沉积物质以单原子膜的形式一层一层的镀在基底表面。原子层沉积的过程是通过...