微纳材料设计与制造研究中心

主要经历 2013.9-至今 华中科技大学物理学院学士 研究方向  ALD沉积在封装器件方面的应用

主要经历 2013.9-至今 华中科技大学物理学院学士 研究方向

主要经历 2017.9- 至今     华中科技大学机械科学与工程学院博士 2013.9-2017.6   武汉理工大学汽车工程学院学士 研究方向 利用原子层沉积可控制备贵金属-氧化物催化剂，并将其应用于汽车尾气催化剂。微纳米颗粒表面包覆方法的研究和相应设备的研发与工艺的探索。

主要经历 研究方向

主要经历 2015.9-至今 华中科技大学机械科学与工程学院硕士 2011.9-2015.6 华中科技大学机械科学与工程学院学士 研究方向  

主要经历 2015.9-至今 华中科技大学机械科学与工程学院硕士 2011.9-2015.6中南大学机电工程学院学士 研究方向  

(adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({}); 1.原子层沉积工艺         原子层沉积技术（atomic layer deposition, ALD）已经逐渐成为了一项沉积功能薄膜的重要技术。该技术可以在纳米级尺度上精确控制物质成分和形貌，它可以将被沉积物质以单原子膜的形式一层一层的镀在基底表面。原子层沉积的过程是通过...