主要经历
2012.9-至今 华中科技大学机械科学与工程学院博士
2011.9-2012.6 华中科技大学机械科学与工程学院硕士
2007.9-2011.6 武汉理工大学机电工程学院学士
研究方向
研究领域包括温度预测控制、空间隔离原子层沉积机理研究
科研成果
论文
W. J. He, B. Chu, R. Gu, H. T. Zhang, B. Shan, R. Chen, ”The Applica...
(adsbygoogle = window.adsbygoogle || []).push({}); In this paper, a series of self-assembled monolayers (SAMs) has been investigated as deactivating agents for the atomic layer deposition (ALD) of HfO2. Three important factors that determine the capacity of self-assembled monolayers to preven...