微纳材料设计与制造研究中心

一、个人基本情况

陈蓉（Chen Rong，Professor），教授、博士生导师，华中科技大学柔性电子研究中心副主任、机械科学与工程学院副院长、光学与电子信息学院双聘教授、中国科学院宁波材料技术与工程研究所客聘研究员。中国科学技术大学获学士学位，美国斯坦福大学（Stanford University）获硕士、博士学位。回国前担任美国英特尔研究院高级研究员。九三学社社员，担任第十一、十二届湖北省政协委员（优秀委员），中国科协第十届全国委员会委员，国家级创新领军人才（2019），海外高层次青年人才（2011），2021年“科学探索奖”获得者。从事微纳制造的前沿交叉领域，开展原子层沉积方法、工艺与装备的研究。承担国基金重点项目、973青年项目等多项微电子与新能源相关项目，在Nat. Comm.，Adv Mater，Angew. Chem. Int. Ed，Small，Sci. Bullet.，IJEM，OEA等国内外期刊上发表SCI论文140余篇，主编撰写中英文出版物3部，获授权专利80余项、含10余项国际专利。兼任中国工程院Engineering期刊青年通讯专家、美国真空学会JVST A&B Editorial Board member、爱思唯尔PhysicaB期刊编辑等。以排名第一荣获湖北省技术发明一等奖、湖北省专利奖、全国颠覆性技术创新大赛优胜奖、入选2020“科创中国-先导技术榜单等。在国际上，获得IEEE SMC杰出学术贡献奖、日内瓦发明展特别金奖、金奖等，并代表中国，在国际标委会上发起“原子层沉积”相关标准。

受邀在IEEE Conference on Nanotechnology、国际ALD/ALE大会、AVS大会等原子制造领域重要国际学术会议做大会/主旨/邀请报告50余次，是国际原子层沉积大会成立以来首位来自中国大陆的tutorial讲座专家。在湖南大学百年机械-名家论坛、中国科学院大学、复旦大学，美国加州大学伯克利分校、荷兰埃因霍温理工大学TU/e、荷兰应用科学研究院TNO、西班牙巴伦西亚ITQ，以及新芯公司群“芯”汇聚科技讲堂、华星光电T4研究中心-引领视界讲堂等做特邀报告近30次，研究工作引起国内外学术界和工业界的广泛关注，产生较为重要的国际学术影响。

受邀担任中国工程院机械与运载工程学部微纳制造领域战略咨询专家、中国微米纳米技术学会青工委副主任委员、欧盟地平线计划 HERALD特邀非欧盟成员等。作为主席或联合主席，承办第五届国际原子层沉积应用大会暨首届亚洲原子层沉积大会、iCANX科学大会，ISFSE 柔性电子国际会议等，担任国际ALD大会、 ECS大会ALD应用分会、MARSS国际会议等组委会委员。担任美国真空学会旗舰期刊《Journal of Vacuum Science and Technology》编委会委员（附件16）、《Physica B: Condensed Matter》期刊编辑、中国工程院旗舰期刊《Engineering》青年通讯专家、中国兵器装备集团《表面技术》期刊评审会委员等；受邀担任《Journal of Vacuum Science and Technology A》期刊“Area selective deposition”、《极端制造》期刊“Atomic level processes for emerging applications”、《机械工程前沿》期刊“atomic and close to atomic scale manufacturing”等特刊客座编辑。

二、主要研究方向

微纳制造、纳米材料生长工艺及设备开发，薄膜制备工艺及应用；原子层沉积技术、微电子和新能源领域的纳米器件开发。
将实验和理论相结合，研究纳米薄膜生长工艺及设备开发，用来解决未来电子和能源工业所即刻面临的挑战。研究的重点在于控制纳米材料的生长、结构、及其性能，用于制造和表征具有精确的物质组成、以及原子尺度上可控的纳米结构，将其整合成纳米器件，并开发相关高精度生长设备。

三、近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

主持基金与项目

在研：

1.“面向柔性量子点显示稳定化的原子层沉积跨尺度制造方法研究” 国家自然科学基金重点项目（51835005），项目负责人。

2.“原子尺度制造与测量”，湖北省自然科学基金创新群体（2020CFA030），负责人。

3.“面向集成电路5nm以下先进制程的原子尺度协同制造方法”，科学探索奖，负责人。

4.“细长孔零件化学气相沉积涂覆关键技术示范应用（项目2020YFB2010400）- 高温运行合金部件超细超长内孔表面CVD 热防护渗层催渗理论（课题2020YFB2010401）”，制造基础技术与关键部件国家重点研发计划，研究任务负责人。

5. 选择性沉积技术相关校企合作，负责人。

6. 硅光集成技术相关校企合作，负责人。

7.“锂离子电池正极材料的ALD包覆技术开发与应用”，宁德时代新能源科技股份有限公司产学研合作项目，负责人。

8.“基于选择性原子层沉积的高效水煤气变换反应纳米催化剂设计与精细制备”国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(51911540476)，负责人。

结题：

1.“基于选择性原子层沉积的高效水煤气变换反应纳米催化剂设计与精细制备”国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(51911540476)，负责人。

2.“面向柔性电子制造的空间隔离原子层沉积系统基础研究”，国家自然科学基金面上项目（51575217），项目负责人。

3.“高效金属-氧化物复合催化剂的理性设计与性能调控”，973国家重大科学研究计划青年项目（2013CB934800），首席科学家。

4.“微纳米颗粒原子层包覆关键技术与装备研究”，湖北省自然科学基金杰出青年基金（2015CFA034），项目负责人。

5.“原子层沉积装备和工艺”武汉市高价值专利组合培育项目(20201G06)，负责人。

6.“硅光片上集成隔离器磁性材料开发项目”，校企合作负责人。

7.贵金属减量化的ALD关键技术研究”，威孚环保产学研合作项目，负责人 。

8.“利用原子层沉积法实现可控组份、大小的纳米催化颗粒生长”，国家自然科学基金青年基金项目（51101064），项目负责人。

9. “ALD薄膜封装技术开发”，华星光电产学研合作项目，项目负责人。

10.“高稳定性的柔性量子点光电器件跨尺度制造的关键问题研究”，华中科技大学自主创新研究基金-重点项目（2016YXZD065），项目负责人。

荣誉与奖励

1.2021年获全国颠覆性技术创新大赛优胜奖

2.2021年第三届“科学探索奖（先进制造）”获得者

3.2021年华中科技大学“国际交流与合作先进个人”

4.2020年“湖北省女性科技创新人才”

5.2020年华中科技大学“外事先进个人”

6.2019年万人计划科技创新领军人才

7.2019年华中科技大学师德先进个人

8.2019年度华中科技大学重大学术进展

9.2018年 湖北技术发明一等奖

10.2018年 第46届日内瓦国际发明展评审团特别嘉许金奖

11.2017年 第十二届中国硅酸盐学会青年科技奖提名奖

12.华中科技大学2016年度知识产权奖

13.中国侨界“创新人才”贡献奖

14.第44届日内瓦国际发明展金奖，泰国国家研究评议会国际发明特别优异奖

15.中青年科技创新领军人才计划获得者

16.湖北省杰出青年基金获得者

17.华中科技大学“十佳青年”

18.教育部“新世纪优秀人才支持计划”

19.半导体研究协会Simon Karecki

20.德州仪器微电子领域女性领袖奖

代表性论文

选择性沉积：

1.Rong Chen*, Yicheng Li, Jiaming Cai, Kun Cao, Han-Bo-Ram Lee “Atomic Level Deposition to Extend Moore’s Law and Beyond” Inter. J. Extreme Manufacturing 2020, 2, 022002. (invited topic review)

2.Kun Cao, Jiaming Cai, Rong Chen* “Inherent selective atomic layer deposition and applications” Chem. Mater. 2020, 32, 2195. (invited perspective)

3.Yanwei Wen, Jiaming Cai, Jie Zhang, Jiaqiang Yang, Lu Shi, Kun Cao, Rong Chen* and Bin Shan* “Edge selective growth of MCp2 (M=Fe, Co, Ni) precursors on Pt nanoparticles in atomic layer deposition: a combined theoretical and experimental study” Chem. Mater., 2019, 31, 101. (cover article)

4.Xiao Liu, Qian-Qian Zhu, Yun Lang, Kun Cao, Sheng-Qi Chu, Bin Shan*, Rong Chen* “Oxide nanotraps-anchored Pt nanoparticles with high activity and sintering resistance via area-selective atomic layer deposition” Angew. Chem. Int. Ed., 2017, 56, 1648.

5.Kun Cao, Lu Shi, Miao Gong, Jiaming Cai, Xiao Liu, Shengqi Chu, Bin Shan*, Rong Chen* “Nanofence Stabilized Platinum Nanoparticles Catalyst via Facet-Selective Atomic Layer Deposition” Small, 1700648, 2017.

6.Qinyong Xiang, Binze Zhou, Kun Cao*, Yanwei Wen, Yun Li, Zhaojie Wang, Chenchen Jiang, Bin Shan, Rong Chen* “Bottom up Stabilization of CsPbBr3 Quantum Dots-Silica Sphere with Selective Surface Passivation via Atomic Layer Deposition” Chem. Mater. 2018, 30(23): 8486.

7.Kun Cao, Jiaming Cai, Xiao Liu, Rong Chen* “Catalysts design and synthesis via selective atomic layer deposition” J. Vac. Sci. Technol. A 2018, 36, 010801. (Invited review)

电子封装：

8.Wentao Cong, Zoushuang Li, Kun Cao, Guang Feng, Rong Chen* “Transient analysis and process optimization of the spatial atomic layer deposition using the dynamic mesh method” Chem. Eng. Sci. 2020, 217, 115513.

9.Zoushuang Li, Cao Kun*, Xiaobo Li, Rong Chen* “Computational fluid dynamics study on spatial atomic layer deposition for the conformality of microgroove substrates” Inter. J. Heat Mass Transfer 2021, 181, 121854.

10.Jianfeng Wanyan, Kun Cao, Zhiping Chen, Yun Li, Chenxi Liu, Runqing Wu, Xiao-Dong Zhang*, Rong Chen* “Predictive tool for sensitive and expedited measurement of ultra-barrier permeation” Engineering 2021, 7 (10), 1461.

11.Binze Zhou, Mengjia Liu, Yanwei Wen, Yun Li, Rong Chen* “Atomic Layer Deposition for Quantum Dots based Devices” Opto-Electronic Advances 2020, 3, 190043. (invited review, cover)

12.Yun Li, Yingfei Xiong, Huizhi Yang, Kun Cao, Rong Chen*, “Thin film encapsulation for the organic light-emitting diodes via atomic layer deposition” J. Mater. Res. 2020, 35, 681. (invited review, cover)

13.Xiaolei Wang, Yun Li, Jilong Lin, Bin Shan, Rong Chen* “Modular injector integrated linear apparatus with motion profile optimization for spatial atomic layer deposition” Rev. Sci. Instrum., 2017, 88, 115108.

14.Bin Huang, Wenjuan Yang, Yanwei Wen, Bin Shan*, Rong Chen* “Co3O4 Modified TiO2 Nanotube Arrays via Atomic Layer Deposition for Improved Visible-Light Photoelectrochemical Performance” ACS Appl. Mater. Inter. 2015, 7 (1), 422

能源催化：

15.Xiao Liu, Shuangfeng Jia, Ming Yang, Yuanting Tang, Yanwei Wen, Shengqi Chu, Jianbo Wang, Bin Shan*, Rong Chen*, “Activation of subnanometric Pt on Cu-modified CeO2 via redox-coupled atomic layer deposition for CO oxidation” Nature Comm. 2020, 11, 4240.

16.Yuanjie Cao, Yuanting Tang, Chaojun Huang, Zhili Wang, Feng Liu, Bin Shan, Rong Chen* “Vaporized-salt-induced sp3-hybridized Defects on Nitrogen-doped Carbon Surface towards Oxygen Reduction Reaction” Carbon 2021, 180, 1.

17.Yuanjie Cao, Haoyang Peng, Shengqi Chu, Yuanting Tang, Chaojun Huang, Zhili Wang, Feng Liu, Jinsong Wu, Bin Shan, Rong Chen* “Molten-salt-assisted Thermal Emitting Method to Transform Bulk Fe2O3 into Fe Single Atom Catalysts for Oxygen Reduction Reaction in Zn-air battery” Chem. Eng. J. 2021, 129713.

18.Zoushuang Li, Junren Xiang, Xiao Liu, Xiaobo Li, Lijie Li, Bin Shan, Rong Chen* “A combined multiscale modelling and experimental study on surface modification of high-volume micro-nanoparticles with atomic accuracy” Inter. J. Extreme Manufacturing 2022, 4, 025101.

19.Kun Cao, Jiaming Cai, Bin Shan, Rong Chen*, “Nanoparticles surface functionalization through atomic layer deposition” Sci. Bulletin 2020, 65, 678. (invited review)

20.Ming Zhao, Kun Cao, Mengjia Liu, Jing Zhang, Rong Chen*, Zhiguo Xia* “Dual-shelled RbLi(Li3SiO4)2:Eu2+@Al2O3@ODTMS phosphor as a stable green emitter for high-power LED Backlights” Angew. Chem. Int. Ed. 2020, 59, 2.

21.Xiao Liu, Jiaqiang Yang, Gurong Shen, Meiqing Shen, Yunkun Zhao, Kyeongjae Cho, Bin Shan* and Rong Chen*, “Tuning the structure of bifunctional Pt/SmMn2O5 interface for promoted low-temperature CO oxidation activity” Nanoscale, 2019, 11, 8150. (cover article)

22.Rong Chen*, Kai Qu, Jiawei Li, Penghui Zhu, Chenglong Duan, Jing Zhang, Xiwen Li, Xiao Liu*, Zhijian Yang “Ultrathin Zirconia Passivation and Stabilization of Aluminum Nanoparticles for Energetic Nanomaterials via Atomic Layer Deposition” ACS Appl. Nano Mater., 2018, 1, 5500.

四、对考生的基本要求

欢迎有志于从事博士后研究的学者加盟！
欢迎肯动脑筋、学习能力强、有责任心的同学报考并加入纳米制造及薄膜技术研究组。读硕士和博士学位的考生应具有扎实的基础、学习能力强、英文说写熟练、对微纳制造相关工艺及设备有浓厚兴趣。欢迎机械制造、机械电子等专业的同学报考，也特别欢迎具有材料、电子、化学、物理及工程等交叉背景的同学报考。希望在这个严谨认真、多学科交叉的集体里，度过充实而有意义的科研学习时光。

联系方式

E-mail：rongchen@mail.hust.edu.cn