微纳材料设计与制造研究中心

2023年2月26日晚上7：30，微纳材料设计与制造研究中心陈蓉教授指导的博士生李易诚在先进制造大楼东楼A402会议室进行了题为《介电氧化物薄膜选择性原子层沉积方法及工艺研究》的博士答辩。李易诚博士的论文围绕半导体器件中高精度图案化薄膜的制造需求，以选择性原子层沉积（ALD）为研究重点，系统研究了ALD反应物在相同羟基表面的酸性-碱性氧化物以及不同表面基团的金属-氧化物基底组合时的化学吸附调控因素，发展了三类选择性ALD方法与工艺。该技术应用于纳米级图案结构表面，实现了自对准，为半导体制造提供了潜在解决方案。

李易诚一共参与SCI论文10篇，其中第一作者和等同第一作者5篇，受理专利2项。答辩过程中李易诚表述清楚，回答问题正确，答辩委员会一致同意通过李易诚同学的博士学位论文答辩。在毕业之后李易诚同学将入职北方华创从事半导体装备及工艺方面的工作，祝他今后一切顺利！