微纳材料设计与制造研究中心

2019年11月28日，应华为技术有限公司邀请，华中科技大学陈蓉教授赴深圳华为技术有限公司总部参观，并做了题为“原子尺度薄膜沉积装备、工艺研发与应用”的科学报告。报告主要内容包括以下三个方面：针对目前微纳制造中的制造精度和尺度问题而发展的自下而上原子层沉积工艺的理论研究以及工艺探索；不同应用层面的ALD装备研制、以及目前技术在柔性显示、能源动力、智能传感等领域得到的应用。

报告内容得到了华为研发人员的高度评价，并且对目前ALD技术的广阔应用前景表示认可。通过本次交流，双方确定了未来就先进薄膜制备以及器件研发等方面的合作计划，以及就未来广阔的合作前景进行展望，共同推进先进制造技术的发展及应用。