一种可升降加热器机构

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2014-09-03 11:09:18 作者: 所属分类:专利 阅读: 1,778 views

本实用新型公开了一种可升降加热器,包括传送杆,载物台,加热器和丝杠,加热器和丝杠的顶部固定连接,加热器的顶部设置有斜槽和深槽,载物台用于承载样品,载物台的底部设置有弹性定位销,侧面设置有一对侧面定位销,加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接,用于为样品提供温度保证,传送杆和载物台固定连接,用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺,加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接,丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降,且具有粗调和精调的功能,传送杆前部设置有凹槽结构。本发明能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。