邓章

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2014-09-11 22:09:48 作者： 所属分类：博士 阅读： 3,687 views

dengzhang

主要经历

  • 2011.9-至今 华中科技大学机械科学与工程学院机械电子
  • 2009.9-2011.7 华中科技大学机械科学与工程学院工业工程
  • 2005.9-2009.7 华中科技大学机械科学与工程学院

研究方向

原子层沉积集成式设备开发，与计算流体动力学模拟。

科研成果

专利

  • 一种原子层沉积前驱体输出装置
  • 一种用于大型非平整表面沉积薄膜的装置与方法