原子层沉积技术及其应用
背景简介
应用简介
薄膜封装：与华星光电开展薄膜封装产学研合作，薄膜水汽阻隔率可达10-5~10-6 g/(m2*day)，OLED老化点亮（60℃，90% RH）不小于500小时，可满足手机、笔记本电脑屏幕封装需求
汽车尾气催化剂处理：利用区域选择性原子层沉积方法实现嵌入式结构的可控制备，发展的复合催化剂实现贵金属减量25%，并有效提高催化剂活性和热稳定性，达到国V标准。
功能性薄膜制备与传感器集成：利用原子层沉积方法实现功能性薄膜制备并集成到传感器中，有效提高器件的灵敏度和反应速度，极端环境耐受性亦显著改善。
含能材料包覆：利用原子层沉积方法实现对含能纳米颗粒表面的有效钝化，有效避免其被水氧侵蚀，摩擦感度降低约28%，显著提高使用和运输过程中的安全性和可靠性。
装备搭建
陈蓉，教授，博士生导师
华中科技大学机械科学与工程学院 数字制造装备与技术国家重点实验室 装需求
“中青年科技创新领军人才”获得者 “973”青年项目负责人 “青年千人计划”入选者 装需求
邮箱：rongchen@mail.hust.edu.cn 地址：湖北省武汉市珞喻路1037号，430074 装需求