原子层沉积技术及其应用


背景简介



应用简介


薄膜封装:与华星光电开展薄膜封装产学研合作,薄膜水汽阻隔率可达10-5~10-6 g/(m2*day),OLED老化点亮(60℃,90% RH)不小于500小时,可满足手机、笔记本电脑屏幕封装需求
汽车尾气催化剂处理:利用区域选择性原子层沉积方法实现嵌入式结构的可控制备,发展的复合催化剂实现贵金属减量25%,并有效提高催化剂活性和热稳定性,达到国V标准。

功能性薄膜制备与传感器集成:利用原子层沉积方法实现功能性薄膜制备并集成到传感器中,有效提高器件的灵敏度和反应速度,极端环境耐受性亦显著改善
含能材料包覆:利用原子层沉积方法实现对含能纳米颗粒表面的有效钝化,有效避免其被水氧侵蚀,摩擦感度降低约28%,显著提高使用和运输过程中的安全性和可靠性。

装备搭建


陈蓉,教授,博士生导师

华中科技大学机械科学与工程学院 数字制造装备与技术国家重点实验室 装需求

“中青年科技创新领军人才”获得者 “973”青年项目负责人 “青年千人计划”入选者 装需求
邮箱:rongchen@mail.hust.edu.cn 地址:湖北省武汉市珞喻路1037号,430074 装需求