ALD&PLD系统

 

 ALD-AFM双室系统  ALD系统-S-ALD  ALD系统-多路管流  ALD系统-粉体

 ALD系统-一代平面(含AE_Litmas等离子源)

ALD系统-卷到卷 ALD系统-离心 Picosun ALD R200
  TSST蒸镀磁控PLD

 

 

材料制备

 

 KQ5200DE型超声波清洗器 Millipore超纯水仪  QM-3SP2行星式球磨机  TG16-ws离心机
WZ-50C6单道注射泵 布劳恩UniLab手套箱  成都铭恒PDC-MG等离子清洗机  合肥科晶VGB-3国产手套箱
 科晶GSL-1500X真空管式炉  力辰科技去离子水仪  马弗炉  真空干燥箱

 

 

光电测量

 

 CHF-XM-500W 氙灯  Crowntech IPCE测试系统  Autolab电化学工作站  Perfect Light-FX300光源
       
 J. A. Woollam椭偏仪  PSM-2010可程式交换式直流电源供应器  金镶KR-20005大功率程控直流电源  科思特CS310电化学工作站
 兆信KXN-1603D直流稳压电源

 

 

催化表征

 

AMETEK_Dycor_LC-D200_RGA残余气体分析仪  Horiba_MEXA-584L尾气分析仪  MKS_Multigas6030  泛泰4100
       
 佛分FGA-4100汽车排气分析仪  沃德VDSorb-91i  崂应7030智能皂膜流量计  FINESORB-3010e程序升温化学吸附仪

 

 

通用仪器

 

2XZ-1旋片式真空泵 AE_Litmas等离子源 Agilent 5500原子力显微镜 EwardsAPGX-H真空计
Hiden_HPR-20质谱仪 NICOLET IS50红外仪器  氮氧分析仪CLD822Mh  美国Kino动态静态接触角仪