柔性光电子器件与装备

柔性光电子器件是一种可穿戴,可弯折的便携式器件,是未来显示/检测/传感等技术前沿发展方向,其中普遍使用的有机(OLED)和量子点(QLED)器件核心发光单元均为水氧敏感性材料,其长期使用稳定性是实际应用关键问题。本团队通过引入ALD方法在纳米尺度对显示器件进行封装,调控表面缺陷态,构造多层水氧渗透路径提升器件的稳定性,在高效封装方面团队基于空间隔离原子层沉积技术(SALD),通过多组成模块设计和薄膜制备工艺研究,相继开发出适应于不同柔性基底高效封装的SALD装备,应用于OLED,QLED器件的表面改性与长期使用稳定性的提升。

ALD设备设计获日内瓦国际发明金奖              柔性电子器件与显示                              量子点发光与探测器件